開課班級Class：	授課教師Teacher：	學分數Credits：
四材料三A	曹龍泉,李佳言	1

課程大綱Course Description：

本半導體製程導論為教導學生對半導體製程的實作認識，以深入瞭解半導體材料與設備、半導體製作與半導體產業之運作，運用業界所普遍使用的半導體材料與設備實作，使學生瞭解材料工程師在半導體業界可扮演的角色與任務。實作內容包括清洗製程、加熱製程、微影製程、濕式蝕刻、乾式蝕刻、化學氣相沈積及金屬化製程

English Outline：

The aim of “Semiconductor Manufacturing Practice” is to acquaint the students with the basic principles of semiconductor manufacturing practice. The course also introduces the students to the semiconductor materials and equipment, the semiconductor manufacturing and the semiconductor business. Utilizing the knowledgements of commercial semiconductor materials and equipment, the students can understand their roles in the semiconductor fields. The contents include Cleaning Process, Thermal Processes, Photolithography, Wet Etch, Dry Etch, CVD and Metallization.

本科目教學目標Course Objectives：

教學型態Teaching Models：	成績考核方式Grading：
實習(校內、校外)	平時成績General Performance：20% 期中考Midterm Exam：80% 期末考Final exam：0% 其它 Other：

參考書目Textbooks/References：

SDGs指標：

UCAN職業項目：

課程更新狀態：

課程匯入時間Import Time：2025-01-20 08:53:45

最後更新時間Last Modified：2025-02-04 12:59:53，更新人modified by：李佳言