開課班級Class：	授課教師Teacher：	學分數Credits：
四先進材料三A	李佳言	3

課程大綱Course Description：

半導體製程導論為教導學生對IC產業之半導體製程的基本原理認識，以及深入瞭解相關電子材料與設備、半導體製作與半導體及電子產業之運作，運用業界所普遍使用的電子及半導體材料與設備介紹，使學生瞭解製程工程師在IC製造業界可扮演的角色與任務。授課內容包括積體電路生產簡介、半導體基礎、晶圓製造、加熱製程、微影製程、電漿原理、離子佈植、蝕刻、化學氣相沈積及金屬化製程。

English Outline：

The aim of “Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology” is to acquaint the students with the basic principles of semiconductor manufacturing. The course also introduces the students to the semiconductor materials and equipment, the semiconductor manufacturing and the semiconductor business. Utilizing the knowledgement of commercial semiconductor materials and equipment, the students can understand their roles in the semiconductor fields. The contents include Introduction to IC Fabrication, Semiconductor Basics, Wafer Manufacturing, Thermal Processes, Photolithography, Plasma Basics, Ion Implantation, Etch, CVD and Dielectric Thin Film and Metallization.

本科目教學目標Course Objectives：

教學型態Teaching Models：	成績考核方式Grading：
課堂教學	平時成績General Performance：40% 期中考Midterm Exam：30% 期末考Final exam：30% 其它 Other：

參考書目Textbooks/References：

半導體製程技術導論 蕭宏原著 全華出版

SDGs指標：

課程匯入時間Import Time：2023-07-04 11:16:25

最後更新時間Last Modified：2023-07-04 11:32:08，更新人modified by：