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(1132)半導體製程實作(4003)_四材料三A
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材料工程系
(1132)半導體製程實作(4003)
摘要
(1132)半導體製程實作(4003)_四材料三A
本半導體製程導論為教導學生對半導體製程的實作認識,以深入瞭解半導體材料與設備、半導體製作與半導體產業之運作,運用業界所普遍使用的半導體材料與設備實作,使學生瞭解材料工程師在半導體業界可扮演的角色與任務。實作內容包括清洗製程、加熱製程、微影製程、濕式蝕刻、乾式蝕刻、化學氣相沈積及金屬化製程
教師:
LeeChia-Yen 李佳言
教師:
Tsao Lung-Chuan 曹龍泉