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(1121)半導體製程導論(4574)_四先進材料三A
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先進材料學士學位學程
(1121)半導體製程導論(4574)
摘要
(1121)半導體製程導論(4574)_四先進材料三A
半導體製程導論為教導學生對IC產業之半導體製程的基本原理認識,以及深入瞭解相關電子材料與設備、半導體製作與半導體及電子產業之運作,運用業界所普遍使用的電子及半導體材料與設備介紹,使學生瞭解製程工程師在IC製造業界可扮演的角色與任務。授課內容包括積體電路生產簡介、半導體基礎、晶圓製造、加熱製程、微影製程、電漿原理、離子佈植、蝕刻、化學氣相沈積及金屬化製程。
教師:
LeeChia-Yen 李佳言